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对YG6硬质合金电化学蚀刻工艺进行了研究,提出了采用光致抗蚀剂作保护膜,在生成一定钝化膜的情况下进行电化学蚀刻的方法.在一定的蚀刻深度范围内,该工艺的可控性好、腐蚀区表面质量较好.
钨钴硬质合金电化学蚀刻加工研究
【摘 要】
：
对YG6硬质合金电化学蚀刻工艺进行了研究,提出了采用光致抗蚀剂作保护膜,在生成一定钝化膜的情况下进行电化学蚀刻的方法.在一定的蚀刻深度范围内,该工艺的可控性好、腐蚀区
【机 构】
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四川大学
【出 处】
：
表面技术
【发表日期】
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2002年3期
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