【摘 要】
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密度是玻璃基板最重要的物性指标之一。传统方法中，检测密度时要对样品进行精密退火，以消除残余应力的影响，但该方法不能客观精准地反应玻璃基板性能的变化。通过运用浮力法分别对退火前后玻璃基板的密度进行测试分析，结果显示，玻璃基板原片密度的波动大于退火后密度的波动。因此，有必要对玻璃基板原片的密度进行检测和管控。
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密度是玻璃基板最重要的物性指标之一。传统方法中，检测密度时要对样品进行精密退火，以消除残余应力的影响，但该方法不能客观精准地反应玻璃基板性能的变化。通过运用浮力法分别对退火前后玻璃基板的密度进行测试分析，结果显示，玻璃基板原片密度的波动大于退火后密度的波动。因此，有必要对玻璃基板原片的密度进行检测和管控。
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