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本发明涉及高纯三氯氢硅热泵精馏生产装置和方法。三氯氢硅原料液经过脱轻塔脱轻后再进入脱重塔进行脱重，从而获得高纯的三氯氢硅。在此基础上脱氢塔和脱重塔均采用热泵精馏工艺。冷凝器中的冷却介质与塔顶端物料换热后吸收热量蒸发为气体，气体经压缩提高压力和温度后，进入再沸器作为塔釜热源釜液，而本身凝结成液体。