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全氟辛基磺酰氟与N,N-二甲基-1,3-丙二胺在甲苯中反应,得到N-3-二甲氨基丙基全氟辛基磺酰胺;再与氯甲基三乙氧基硅烷在乙醇中反应,制得N-二甲氨基丙基-N-三乙氧硅基甲基全氟辛基磺酰胺,产率达84%。通过红外光谱、核磁共振谱对目标产物进行了结构表征,测得该化合物在乙醇-水溶液中的表面张力为17.3mN/m。