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PZT铁电薄膜离子束刻蚀研究
PZT铁电薄膜离子束刻蚀研究
来源 :上海微电子技术和应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zcc8541099
【摘 要】
:
以Pt为上下电极和中间PZT薄膜的铁电电容器主要由油射法和离子束刻蚀法制备。研究快速热处理实现铁电相转变的条件和离子束刻蚀工艺对铁电容器图形的影响,选择合理的制备工艺可得到
【作 者】
:
陈国明
郭懋端
【出 处】
:
上海微电子技术和应用
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
PZT薄膜
离子束刻蚀
快速热处理
铁电薄膜
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以Pt为上下电极和中间PZT薄膜的铁电电容器主要由油射法和离子束刻蚀法制备。研究快速热处理实现铁电相转变的条件和离子束刻蚀工艺对铁电容器图形的影响,选择合理的制备工艺可得到针电电容器。
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