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提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上，改变谐振梁上的轴向应力，从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速度计的测量范围达66g。同时采用有限元法进行了仿真模拟，结果显示传感器灵敏度约18Hz／g，工作模态固有频率为625．981kH。
一种谐振式微加速度计的设计
【摘 要】
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提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上，改变谐振梁上的轴向应力，从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速
【机 构】
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淮阴工学院机械系,南京航空航天大学机电工程学院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2006年3期
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