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为了快速生成MEMS模型和实现加工的过程模拟,给出一种基于体素的快速MEMS工艺模拟方法。该方法利用MEMS材料属性和体素表示的特性,利用布尔运算快速生成所需要的模拟过程和最终结果。最后给出了具体实现,并给出了测试实例。
基于体素的快速MEMS工艺模拟
【摘 要】
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为了快速生成MEMS模型和实现加工的过程模拟,给出一种基于体素的快速MEMS工艺模拟方法。该方法利用MEMS材料属性和体素表示的特性,利用布尔运算快速生成所需要的模拟过程和最终结果。最后给出了具体实现,并给出了测试实例。
【机 构】
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华东理工大学计算机科学与工程系
【出 处】
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计算机应用与软件
【发表日期】
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2009年05期
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