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修正环型抛光机用于超精密平面抛光 ,并对沥青抛光进行了运动学分析。基于得到的方程式 ,发现在相同条件下 ,计算出的抛光量和平面度与 60mm直径的玻璃圆板工件的实验值非常一致。提出了用于改善抛光平行度的偏心分布载荷技术。获得了 1 A～ 2 A表面粗糙度及小于 2 0″平行度的晶体基片
晶体的超精密平面抛光
【摘 要】
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修正环型抛光机用于超精密平面抛光 ,并对沥青抛光进行了运动学分析。基于得到的方程式 ,发现在相同条件下 ,计算出的抛光量和平面度与 60mm直径的玻璃圆板工件的实验值非常
【机 构】
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浙江工业大学职教学院,浙江工业大学化工学院,玉大学工学部,HiMEP研究所
【出 处】
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浙江工业大学学报
【发表日期】
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2001年01期
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