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针对微机电系统（MEMS）水平式隧穿磁强计，驱动电压过大，不符合微小型卫星上电源电压的使用条件。提出了单折绕梁结构，通过改变梁结构的方法来降低驱动电压，进行了有限元静力及模态仿真分析，所得的位移距离，各阶频率值符合要求，为满足在微小型卫星上的电压要求提供了理论上的可能性。
一种新型水平式MEMS隧穿磁强计仿真
【摘 要】
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针对微机电系统（MEMS）水平式隧穿磁强计，驱动电压过大，不符合微小型卫星上电源电压的使用条件。提出了单折绕梁结构，通过改变梁结构的方法来降低驱动电压，进行了有限元静力及模态仿
【机 构】
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上海电机学院机械学院
【出 处】
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上海电机学院学报
【发表日期】
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2008年2期
【基金项目】
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上海市教委重点课题（062297）
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