Tedlar复合材料表面飞秒激光刻蚀铝薄膜技术研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wwwvvv79

【摘要】

：

研究不同的工艺参数对Tedlar复合材料-铝薄膜(厚度为2μm)表面形貌的影响,理论优化得到合理的工艺参数。研究结果表明,单位时间内极多数量飞秒激光脉冲的积累作用,使得铝膜表面的作用区域温度在极短时间内快速升高并超过铝的熔点和气化温度,表面铝膜最终被刻蚀去除;当激光功率增大到5.5 W时,界面处温度达到了513.19 K,超过了基底Tedlar材料的最高使用温度,并在基底材料表面烧蚀产生点坑;当扫描速度从350 mm/s增大至600 mm/s时,出现的间断点尺寸从1.2μm增大到2.7μm,造成激光刻蚀加

【作者】

：

尚凯文吴敢刘孝丽杨建平王瑞

【机构】

：

兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室,榆林学院能源工程学院

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

2021年10期

【关键词】

：

激光光学 Tedlar复合材料飞秒激光刻蚀工艺参数铝膜仿真分析

【基金项目】

：

国家自然科学基金(51905471)。

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