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介绍了集散控制MOCVD系统的研究和应用.该设备是生长半导体材料GaN的关键设备.文中重点探讨了用PLC实现该设备的控制系统,并给出了硬件设计和工控软件的应用.
MOCVD设备“集散控制系统”设计
【摘 要】
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介绍了集散控制MOCVD系统的研究和应用.该设备是生长半导体材料GaN的关键设备.文中重点探讨了用PLC实现该设备的控制系统,并给出了硬件设计和工控软件的应用.
【机 构】
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西安电子科技大学电子机械学院
【出 处】
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电工技术
【发表日期】
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2003年1期
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