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激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。
激光测振仪用于微梁和AFM探针振动测量
【摘 要】
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激光光纤测振仪将直径小于200μm的激光光斑会聚于Si微悬臂梁和AFM探针上，分别由静电场和PZT进行激振，实现了激光微结构振动特性非接触测量，并给出了测量结果。
【机 构】
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清华大学精密仪器系,100084
【出 处】
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航空计测技术
【发表日期】
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1996年3期
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