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研制一套同时具有时间分辨及空间分辨能力的超快电子衍射（UED）系统，理论时间分辨能力达到300fs，空间分辨能力160lp／mm，并对该系统进行了静态性能分析。实验表明，优化后系统电子束直径约为300μm，电子打靶角度约为0．09°，同时对z和Y偏转板的灵敏度、电子束斑尺寸及位置稳定性进行定量分析，利用该系统进行多晶铝膜电子衍射实验，分析衍射图样表明系统最小可以分辨单个晶格间距的0．36％。