【摘 要】
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用快速率（1．0ML／s）生长MBEInAs／GaAs（001）量子点。原子力显微镜观察结果表明，在量子点体系形成的较早阶段，量子点密度N（θ）随InAs沉积量θ的变化符合自然指数形式N（θ）∝e^k（θ-θ0），这与以前
【机 构】
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中科院半导体所半导体材料科学重点实验室
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用快速率（1．0ML／s）生长MBEInAs／GaAs（001）量子点。原子力显微镜观察结果表明，在量子点体系形成的较早阶段，量子点密度N（θ）随InAs沉积量θ的变化符合自然指数形式N（θ）∝e^k（θ-θ0），这与以前在慢速生长（≤0．1ML／s）条件下出现的标度规律N（θ）∝（θ-θ0）。明显不同。另外，在N（θ）随θ增加的过程中，快速率生长量子点的高度分布没有经历量子点平均高度随沉积量θ逐渐增加的过程。这些实验观察说明，以原子在生长表面作扩散运动为基础的生长动力学理论至少是不全面的，不适用于解释I
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