【摘 要】
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采用多元等离子体浸没离子注入与沉积制备TiAlSiN纳米复合涂层,利用EDX,XRD,SEM,XPS,纳米探针和划痕试验对涂层成分组成、微结构和机械性能进行测试分析.XRD测试表明,TiAlSiN
【机 构】
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哈尔滨工业大学 先进焊接与连接国家重点实验室
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采用多元等离子体浸没离子注入与沉积制备TiAlSiN纳米复合涂层,利用EDX,XRD,SEM,XPS,纳米探针和划痕试验对涂层成分组成、微结构和机械性能进行测试分析.XRD测试表明,TiAlSiN涂层具有较强的TiN(200)择优取向.XPS测试表明,TiAlSiN涂层中也含有AlN、Si3N4、Al2O3和Ti2O3.与制备的TiN涂层相比,当涂层中的Si含量为0.9％时,TiAlSiN涂层表现出较高的硬度,达32 GPa,但涂层的断裂韧性和结合强度较低；当涂层中的Si含量增加至6.0％时,TiAlSiN涂层具有超高的硬度57 GPa,并表现出较好的断裂韧性和结合强度.
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