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用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额.计算中采用山村等人提出的包括壳效应的新电子能量损失局域模型,原子间作用势使用Moliére势.计算得到的结果与实验数据和山村等的经验公式进行比较,符合得很好.
用新局域模型计算高Z靶的溅射产额
【摘 要】
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用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额.计算中采用山村等人提出的包括壳效应的新电子能量损失局域模型,原子间作用势使用Moliére势.计算得到的结
【机 构】
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内蒙古民族大学理工学院物理系,冈山理科大学
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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2002年1期
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