【摘 要】
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A new set of technique was adopted in bonding Si-Si by using Ge (Ⅳ element),which is used as the substitute for the common hydrophilic method. The bond layer h
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A new set of technique was adopted in bonding Si-Si by using Ge (Ⅳ element),which is used as the substitute for the common hydrophilic method. The bond layer has no holes, and the edge bond-rate amounts to above 98%, and the bond strength is above 2156 Pa. By doping the same kind of dopant with low-resistance in Ge, the stress compensation was realized.
A new set of technique was adopted in bonding Si-Si by using Ge (IV element), which is used as the substitute for the common hydrophilic method. The bond layer has no holes, and the edge bond-rate amounts to 98% , and the bond strength is above 2156 Pa. By doping the same kind of dopant with low-resistance in Ge, the stress compensation was realized.
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