【摘 要】
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ELID磨削主要采用铸铁结合剂砂轮,但是该砂轮在使用过程中有明显的弊端,如砂轮难以制造,价格也比较高,且无法保证加工表面的清洁度.将新型环保型竹炭结合剂砂轮（BCB砂轮）与ELID
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（0775207）
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ELID磨削主要采用铸铁结合剂砂轮,但是该砂轮在使用过程中有明显的弊端,如砂轮难以制造,价格也比较高,且无法保证加工表面的清洁度.将新型环保型竹炭结合剂砂轮（BCB砂轮）与ELID磨削技术相结合,可开发一种使用简便、制作简易、并且可以达到优良的加工表面质量的新型超精密加工方法与技术.通过BCB砂轮进行单晶硅ELID磨削工艺实验,研究磨削参数对单晶硅ELID磨削表面质量,切向磨削力的影响.实验结果显示：BCB砂轮进行单晶硅ELID磨削加工过程中磨削性能良好,可获得高效率、高质量表面加工效果.
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