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<正> 本文着重叙述具有代表性的光蚀刻短波长化和超分辨率技术、以及电子束的高速化、X射线高精度化等最新蚀刻技术动向和最新技术课题.
蚀刻技术
【摘 要】
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<正> 本文着重叙述具有代表性的光蚀刻短波长化和超分辨率技术、以及电子束的高速化、X射线高精度化等最新蚀刻技术动向和最新技术课题.
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年8期
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