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研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究
【摘 要】
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研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩
【机 构】
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太原理工大学表面工程研究所
【出 处】
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金属热处理学报
【发表日期】
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2002年1期
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