对于超纯水制取装置前级脱盐和后级树脂再生的改进

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lifen11

【摘要】

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<正>1985年我厂从美国和日本分别引进玻封低压二极管和塑封高压硅谁生产线的同时,也从国外引进一套15T/h超纯水制取装置(见本刊1986年第5期52页).但是,由于我厂采用含盐量高

【作者】

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许澄嘉许加淦

【机构】

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江苏如皋无线电厂,江苏如皋无线电厂

【出处】

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半导体技术

【发表日期】

：

1989年06期

【关键词】

：

制取装置树脂再生电渗析吸水时间反渗透膜

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<正>1985年我厂从美国和日本分别引进玻封低压二极管和塑封高压硅谁生产线的同时,也从国外引进一套15T/h超纯水制取装置(见本刊1986年第5期52页).但是,由于我厂采用含盐量高的(硬质)深井水作为原水,因此对于前级脱盐和后级离子交换的影响颇大.为确保引进的超纯水制取装置正常运转,我们根据实际情况和经验,对于超纯水制取装置的前级脱

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