【摘 要】
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使用Ct2ZnSnS4 (CZTS)靶材,通过射频磁控溅射方法镀膜,不经后期硫化处理,在钠钙玻璃衬底上沉积了锌黄锡矿结构的CZTS薄膜材料.在薄膜的沉积过程中,衬底温度分别为300,400和50
【机 构】
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河南师范大学物理与电子工程学院,河南省光伏材料重点实验室 新乡 453007华北电力大学可再生能源学院 北京 102206;河南师范大学物理与电子工程学院,河南省光伏材料重点实验室 新乡 453007
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使用Ct2ZnSnS4 (CZTS)靶材,通过射频磁控溅射方法镀膜,不经后期硫化处理,在钠钙玻璃衬底上沉积了锌黄锡矿结构的CZTS薄膜材料.在薄膜的沉积过程中,衬底温度分别为300,400和500℃.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能量色散X射线光谱仪和紫外-可见-近红外分光光度计等对薄膜样品的微观形貌、晶体结构、元素成分、光学性质等进行了研究.分析讨论了衬底温度对样品的表面形貌、晶体结构、化学成分、光吸收系数和禁带宽度的影响关系.结果表明,在衬底温度为500℃条件下沉积得到的CZTS薄膜样品,具有较好的锌黄锡矿晶体结构,晶粒大小为23 nm,光吸收系数在可见光范围内高于1×104 cm-1,禁带宽度为1.49 eV.
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