【摘 要】
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对进一步提高光栅干涉仪定位检测系统的定位精度和位移检测分辨率进行了研究,分析了检测视场中干涉条纹的不同测量位置对定位系统的影响,提出了一种利用干涉相移进行超精密位
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对进一步提高光栅干涉仪定位检测系统的定位精度和位移检测分辨率进行了研究,分析了检测视场中干涉条纹的不同测量位置对定位系统的影响,提出了一种利用干涉相移进行超精密位移检测的新方法,在传统的光栅干涉仪系统中加入相位扫描机构,使光电传感器在检测视场中的两个干涉条纹间进行移动,从而改变了光栅干涉仪的接收相位,理论上可以达到纳米、亚纳米等更高精度的检测.精密定位检测实验表明,采用该检测定位方法可以提高定位精度16%以上.
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