Si对Ti—Ni合金马氏体转变的影响

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【摘要】

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TiNi合金薄膜具有大的可变形量和强的形状记忆恢复力,是目前微型驱动器的候选材料.在TiNi合金溅射薄膜结晶化退火时(高于600℃),TiNi薄膜和Si载体的界面,将发生元素的互扩散,

【作者】

：

黄金昌杨华斌

【出处】

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稀有金属快报

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

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TI-NI合金马氏体转变硅形状记忆合金形状记忆效应

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TiNi合金薄膜具有大的可变形量和强的形状记忆恢复力,是目前微型驱动器的候选材料.在TiNi合金溅射薄膜结晶化退火时(高于600℃),TiNi薄膜和Si载体的界面,将发生元素的互扩散,导致TiNi合金薄膜成分改变,并影响合金薄膜的强度及其形状记忆效应.为此,中国国立台湾材料科学与工程研究所开展了Ti(51)Ni(47)Si2形状记忆合金的研究.……

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