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采用金属辅助化学反应刻蚀法制备了具有凹凸结构的纳米多孔氧化硅,利用光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等,研究了刻蚀时间对纳米多孔氧化硅形貌结构的影响。结果表明：刻蚀初期在强氧化性酸的作用下,硅表面形成一层氧化硅薄膜,进一步刻蚀,氧化硅薄膜出现规则的周期性凹凸结构裂纹.最后展望了这种凹凸结构纳米多孔氧化硅的应用前景。