高Q平面环形微腔二氧化碳激光熔融分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenshengfang1985
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高Q值的光学微腔,近年来受到广泛的关注。由于其极高的品质因数和WGM模式,被广泛的应用于低阈值激光,微腔量子动力学,微腔生化传感器等领域。采用MEMS工艺制备平面微盘腔,通过建立物理模型和温度场分析了微盘腔在激光下的温度分布情况,通过拉曼频移测试了环形腔的热应力。实验结果表明激光处理表面后的微环腔应力为张力,而且距离环中心越远应力越大,最后测试得到微腔品质因数为4.8×105,耦合效率在95%以上。
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