【摘 要】
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利用AnsoftHFSS有限元软件对响应在中红外波段周期结构的三明治薄膜超材料进行了s参数仿真，并对其负折射效应进行了优化研究。研究发现薄膜结构的负折射性质随着介质层厚度的
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利用AnsoftHFSS有限元软件对响应在中红外波段周期结构的三明治薄膜超材料进行了s参数仿真，并对其负折射效应进行了优化研究。研究发现薄膜结构的负折射性质随着介质层厚度的变化而变化。通过对不同介质层厚度、孔及其反结构的金属一介质一金属薄膜的仿真，发现周期孔阵结构薄膜负折射效应的品质因数和带宽大致随介质层厚度的增加而增大，当介质层厚度达到1μm时，正方品格和中心对称晶格的孔阵结构薄膜FOM值可分别达到0．542和0．544THz，负折射率带宽则可分别达到6．65、4．75THz。周期长条结构薄膜虽然没有这
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