离子溅镀在扫描电镜试样制备中的应用

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一概述扫描电镜问世,为研究固体材料的表观结构,化学成份与材料性能之间的关系及变化规律提供了强有力的工具。它的应用范围日趋扩大,试样的品种更加繁杂而性质又各异。扫描电镜允许直接观察块状试样,但对试样表面要求如下:1.导电性能好,表面有泄漏电荷 An overview of the advent of scanning electron microscopy has provided a powerful tool for studying the relationship between the apparent structure of solid materials, the chemical composition and material properties, and the changing patterns. Its application range is expanding day by day, the variety of the sample is more complicated and the nature is different. Scanning electron microscope allows the direct observation of massive samples, but the requirements of the sample surface are as follows: 1. Good conductivity, surface leakage charge
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