隔膜真空泵的现状分析与探索

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隔膜真空泵是一个安装在偏心轴上的弹性膜片在电动机的带动下做直线往复运动,使得腔体发生形变,实现介质的抽入和排出,泵在转移,疏散及压缩的过程完全无油,实现无污染传输的一种装置。文章对该装置的发展历史及现状进行分析,并简要论述了隔膜真空泵的特点和发展趋势。
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