【摘 要】
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铁电薄膜材料与器件是近年来高新技术研究的前沿和热点之一,文章概括介绍了铁电薄膜研究的现状,铁电薄膜的物理性能及其表征,铁电薄膜在微电子、光电子和集成光学等领域中的应用
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铁电薄膜材料与器件是近年来高新技术研究的前沿和热点之一,文章概括介绍了铁电薄膜研究的现状,铁电薄膜的物理性能及其表征,铁电薄膜在微电子、光电子和集成光学等领域中的应用,并指出了当前铁电薄膜材料与器件研究中需要着重解决的一些问题。
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