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本文简介了Pd栅MOS气敏传感器的敏感机理.以N阱双极/MOS兼容工艺,将传感器的CO或H_2气敏单元、气敏补偿单元、加热电阻、温敏单元单片集成,制作了可调高温的具有高稳定输出的芯片自恒温系统.测试结果表明,该气敏传感器具有良好的选择性、稳定性和校高的灵敏度.
芯片自恒温集成FET气敏传感器简介
【摘 要】
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本文简介了Pd栅MOS气敏传感器的敏感机理.以N阱双极/MOS兼容工艺,将传感器的CO或H_2气敏单元、气敏补偿单元、加热电阻、温敏单元单片集成,制作了可调高温的具有高稳定输出的
【机 构】
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东南大学电子工程系,东南大学电子工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1992年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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