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采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积非晶硅薄膜,然后在快速热退火炉中进行退火.研究了升温速率、降温速率对晶化的影响.结果表明:退火中,升温速率越大,越不利于晶核的形成;降温速率较小时(100℃/60 s),形成的晶粒尺寸较小,晶化情况较好,晶化率估算达64.56%.
快速热退火制备多晶硅薄膜的研究
【摘 要】
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采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积非晶硅薄膜,然后在快速热退火炉中进行退火.研究了升温速率、降温速率对晶化的影响.结果表明:退火中,升温速率越大,越不利于晶核
【机 构】
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南阳师范学院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2004年期
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