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立方相SiC MEMS器件研究进展

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：CNXF

【作 者】

：

杨挺 孙国胜 吴海雷 闫果果 宁瑾 赵永梅 刘兴昉 罗木昌 王雷 

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2010年07期

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