Ⅱ-Ⅵ比对分子束外延生长的ZnO/ZnMgO超晶格的相结构调控

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liwanlin

【摘要】

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在Zn1-xMgxO中,x=0.4 ～0.6仍为一个岩盐矿和纤锌矿共存的结构,影响了其晶格质量.本文利用等离子体辅助的分子束外延设备在c面蓝宝石衬底上外延生长了ZnO/ZnMgO超晶格,并改变其

【作者】

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王浩詹华瀚陈晓航周颖慧王惠琼康俊勇

【机构】

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厦门大学物理系

【出处】

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发光学报

【发表日期】

：

2014年5期

【关键词】

：

MGZNO ZNO 超晶格 Ⅱ-Ⅵ比相分离 MgZnO ZnO superlattice Ⅱ-Ⅵ ratio phase segregation

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在Zn1-xMgxO中,x=0.4 ～0.6仍为一个岩盐矿和纤锌矿共存的结构,影响了其晶格质量.本文利用等离子体辅助的分子束外延设备在c面蓝宝石衬底上外延生长了ZnO/ZnMgO超晶格,并改变其生长过程中的Ⅱ-Ⅵ比,利用原子力显微镜、X射线衍射、透射谱和X射线光电子能谱对样品进行了表征分析.发现在较低氧分压下制备的样品结构以岩盐矿为主导,而在较高氧分压下两相共存并以纤锌矿为主.这种相分离现象与裂解氧原子的密度有关.

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