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从理论上、实践上比较了多种镀膜技术 ,确认了在铁氧体移相器单元表面镀膜最好且实用的技术是复合靶、磁控溅射离子镀技术 ,并进一步阐述、分析了优质镀层获得的基本规律
复合靶磁控溅射离子镀膜技术
【摘 要】
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从理论上、实践上比较了多种镀膜技术 ,确认了在铁氧体移相器单元表面镀膜最好且实用的技术是复合靶、磁控溅射离子镀技术 ,并进一步阐述、分析了优质镀层获得的基本规律
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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2000年1期
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