【摘 要】
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Bi-mode逆导门极换流晶闸管（BGCT）是为了改善传统逆导门极换流晶闸管（RC-GCT）电流均匀性和提高硅片有效面积利用率而提出的一种新结构,其主要特点是在版图布局中将二极管阳极与GC
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Bi-mode逆导门极换流晶闸管（BGCT）是为了改善传统逆导门极换流晶闸管（RC-GCT）电流均匀性和提高硅片有效面积利用率而提出的一种新结构,其主要特点是在版图布局中将二极管阳极与GCT阴极指条穿插一起。通过对BGCT器件结构的分析,给出了一种工艺制作方案,并利用Sentaurus TCAD软件验证了工艺方案的可行性,分析研究结果表明,工艺设计方案可行,器件结构参数符合目标要求;最后在确定的工艺流程方案基础上,通过对门阴极指条的设计给出了其版图布局方案,且用L-edit软件绘制出了其光刻流程。
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