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研制窄带干涉滤光片需要有精密的控制膜层厚度的方法。本文介绍了波长扫描法的原理,以及对实验过程中出现的问题和现象进行了初步分析,并用此方法制备了窄带干涉滤光片,获得了精确的中心波长位置。
光学薄膜的厚度控制装置——波长扫描法
【摘 要】
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研制窄带干涉滤光片需要有精密的控制膜层厚度的方法。本文介绍了波长扫描法的原理,以及对实验过程中出现的问题和现象进行了初步分析,并用此方法制备了窄带干涉滤光片,获得
【机 构】
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光学镀膜小组;
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
：
2004年期
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