【摘 要】
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传统的液栅型石墨烯场效应管虽然灵敏度高,但是石墨烯沟道极易被污染,致使器件的稳定性减小,不能被重复利用.为此,我们设计制造了一种顶栅石墨烯离子敏场效应管,以化学气相沉
【机 构】
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上海大学,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（批准号：2014AA06A506）, 国家自然科学基金（批准号：61501441,61401442）, 中国科学院中德国际合作伙伴团队项目（批准号：GJHZ 1306）, 上海市科委项目（批准号：14ZR1447300,15220721700）, 上海市教委基础研究重点项目（批准号：14ZZ095）资助的课题
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传统的液栅型石墨烯场效应管虽然灵敏度高,但是石墨烯沟道极易被污染,致使器件的稳定性减小,不能被重复利用.为此,我们设计制造了一种顶栅石墨烯离子敏场效应管,以化学气相沉积生长的石墨烯为沟道,通过原子层沉积在石墨烯表面沉积绝缘层Hf O2/Al2O3,其中Al2O3作为敏感膜,Hf O2/Al2O3作为石墨烯及电极的保护膜.经过一系列的电学表征和测试发现,相较于液栅型石墨烯场效应管,顶栅石墨烯场效应管具有更高的信噪比、更好的稳定性.为了利用顶栅石墨烯进行生物分子的检测,我们将单链DNA修饰在Al2O3表面,成
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