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本文介绍亚微米电路用水对细菌内毒素的要求，细菌性毒素含量的测定机理和三种常用测定方法，并用鲎试剂凝结法测定高纯水的细菌毒素含量，结果表明，用膜分离技术制取高纯水，其细菌内毒素指标完全达到亚微米电路用高纯水要求。
亚微米电路用高纯水中细菌内毒素的控制
【摘 要】
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本文介绍亚微米电路用水对细菌内毒素的要求，细菌性毒素含量的测定机理和三种常用测定方法，并用鲎试剂凝结法测定高纯水的细菌毒素含量，结果表明，用膜分离技术制取高纯水，其细菌内
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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水处理技术
【发表日期】
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1995年4期
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