【摘 要】
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用等离子体化学气相淀积法制备的SnO_2/Fe_2O_3多层膜的一些电学特性和气敏特性不同于SnO_2单层膜.当SnO_2层的沉积时间很短时,多层膜在空气中及在敏感气氛中的电导随沉积时
【机 构】
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吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系 长春130023,长春130023,长春130023
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用等离子体化学气相淀积法制备的SnO_2/Fe_2O_3多层膜的一些电学特性和气敏特性不同于SnO_2单层膜.当SnO_2层的沉积时间很短时,多层膜在空气中及在敏感气氛中的电导随沉积时间的增加而下降.多层膜的响应及恢复时间也呈现一些反常的变化.本文提出一个包括过渡层在内的模型用以解释这些现象.过渡层可在沉积过程中产生,存在于SnO_2与Fe_2O_3界面附近,其厚度达30nm数量级.
Some electrical and gas-sensing properties of SnO_2 / Fe_2O_3 multilayer films prepared by plasma CVD are different from those of SnO_2 single-layer films.When the deposition time of SnO_2 layer is very short, the multilayer films in air and in a sensitive atmosphere The conductivity decreases with the increase of deposition time.The response and recovery time of multilayers also show some abnormal changes.This paper presents a model including the transition layer to explain these phenomena.The transition layer can be generated in the deposition process , Exists near the interface of SnO_2 and Fe_2O_3, and its thickness is on the order of 30nm.
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