【摘 要】
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利用电子测压器壳体本身是弹性元件的特点,提出设计一种以测压器壳体作为弹性敏感元件的电容式压力传感器,阐述了该电容式压力传感器的工作原理,结构设计,并进行了理论计算,
【机 构】
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中北大学信息与通信工程学院,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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利用电子测压器壳体本身是弹性元件的特点,提出设计一种以测压器壳体作为弹性敏感元件的电容式压力传感器,阐述了该电容式压力传感器的工作原理,结构设计,并进行了理论计算,同时利用ANSYS对其力学特性、电容数值进行了模拟,进行了实验验证,测试结果表明,该电容式压力传感器有很好的线性,且灵敏度达到0.096 pF/MPa.
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