【摘 要】
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采用金属辅助化学刻蚀方法(MACE),在常规碱溶液制备的金字塔表面制备表面形貌良好、反射率低的硅纳米线微结构.详细探究Ag辅助刻蚀的反应过程和反应机理,基于FDTD Solutions仿真软件模拟分析,微米金字塔-纳米线复合结构在减少宽波段和广角度范围的反射率方面比金字塔结构更具有优异性,并在实验上进行相关验证分析,此外对纳米线的刻蚀速率和生长方向也进行研究.
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 201800;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 201800
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采用金属辅助化学刻蚀方法(MACE),在常规碱溶液制备的金字塔表面制备表面形貌良好、反射率低的硅纳米线微结构.详细探究Ag辅助刻蚀的反应过程和反应机理,基于FDTD Solutions仿真软件模拟分析,微米金字塔-纳米线复合结构在减少宽波段和广角度范围的反射率方面比金字塔结构更具有优异性,并在实验上进行相关验证分析,此外对纳米线的刻蚀速率和生长方向也进行研究.
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