【摘 要】
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随着集成电路技术的发展,以TSV技术为主要基础的三维集成电路的体积不断减小,对检测与诊断带来一定难度。从三维集成电路的概念和发展出发,简要阐述理论,并对相关测试技术的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
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随着集成电路技术的发展,以TSV技术为主要基础的三维集成电路的体积不断减小,对检测与诊断带来一定难度。从三维集成电路的概念和发展出发,简要阐述理论,并对相关测试技术的原理展开分析,提出一套用于故障检测的具体检测措施。以单种故障和多种故障两种情况下的开路故障及泄漏故障为例,采用PMOS管漏电流、电桥电路、环形振荡器和放电敏感电路等测试方案对故障电路进行实际检测。通过分析实测结果,推断故障成因,给出合理诊断,为三维集成电路的研究制造提供参考。
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