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本文简要说明场发射扫描电镜(FESEW)的特点及其在半导体中的若干应用。
场发射扫描电镜在半导体中的若干应用
【摘 要】
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本文简要说明场发射扫描电镜(FESEW)的特点及其在半导体中的若干应用。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
电子显微学报
【发表日期】
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1982年2期
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