【摘 要】
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本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题,对典型驱动电缆方案作比较.根据
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题,对典型驱动电缆方案作比较.根据原理模型,给出仪器的主要结构.对仪器自身产生的各种误差进行详细的分析,并提出相应的消除或修正方法.换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨率最小达到0.1nm,测量范围±2～±50μm,满量程非线性度优于0.5%.该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度的动、静态微位移测量及纳米定位.
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