【摘 要】
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微弹簧是一种重要的微电子机械系统(MEMS)器件,它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力.我们采用UV-LIGA技术制备出S型镍平面微弹簧,并使用ANSYS对微弹簧的力学性能进行了
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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微弹簧是一种重要的微电子机械系统(MEMS)器件,它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力.我们采用UV-LIGA技术制备出S型镍平面微弹簧,并使用ANSYS对微弹簧的力学性能进行了模拟.为测试微弹簧的力学性能,研制了1台微弹簧力学性能测试装备.测试结果表明,微弹簧可以满足设计需要.另外,通过比较得出:ANSYS对微弹簧力学性能的模拟结果是较为准确的,可以作为进一步优化微弹簧设计的基础,以满足MEMS的需要.
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