【摘 要】
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材料、交通、能源和信息是当今社会发展的四大支柱产业。跨入21世纪,半导体、电子信息产业迅猛发展,跃居所有产业的首位。电子信息产业的高速发展,在很大程度上是通过开发半导体
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材料、交通、能源和信息是当今社会发展的四大支柱产业。跨入21世纪,半导体、电子信息产业迅猛发展,跃居所有产业的首位。电子信息产业的高速发展,在很大程度上是通过开发半导体硅材料来实现的。当今,95%以上的半导体元器件和集成电路(IC)是用半导体硅制造的,半导体硅材料业已成为半导体材料的主体。
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