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运用DEA方法，对2003-2012年陕西省装备制造业的产业效率进行测算，结果表明陕西省装备制造业的技术效率一直处于相对较高的水平。规模效率是影响整体产业效率的主要因素，随着规模效率的逐步提高，产业综合效率水平可以得到有效的改善。在实证研究的基础上，本文结合陕西省装备制造业的产业发展现状，就如何进一步扩大产业规模，提高产业综合效率进行了分析。