【摘 要】
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目的研究酸（HF和HNO3）、碱（NaOH）腐蚀液对晶体硅制绒的影响。方法通过改变NaOH浓度、异丙醇浓度、腐蚀时间研究单晶硅片腐蚀，通过改变酸溶液浓度比研究多晶硅片腐蚀，通过分析微观形
【基金项目】
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江苏省高校自然科学基金(12KJD480002);江苏省“青蓝工程”资助项目~~
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目的研究酸（HF和HNO3）、碱（NaOH）腐蚀液对晶体硅制绒的影响。方法通过改变NaOH浓度、异丙醇浓度、腐蚀时间研究单晶硅片腐蚀，通过改变酸溶液浓度比研究多晶硅片腐蚀，通过分析微观形貌及表面反射率等考察制备晶体硅制绒工艺参数。结果单晶硅最佳的腐蚀液配比为：NaOH质量浓度15g／L，热碱温度80℃，异丙醇体积分数15％～20％，腐蚀时间10min。在最优化参数下，晶体硅绒表面金字塔大小均匀，高度约为5μm，相邻金字塔间彼此相连，硅表面反射率降低至15％。在V（HF）：V（HNO3）：V（CH3COOH
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