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介绍了计量光栅经离 子束刻蚀后的衍射现象，实测了刻蚀表面的形貌特征，还对这种衍射现象进行了讨论。
离子束刻蚀计量光栅的衍射现象
【摘 要】
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介绍了计量光栅经离 子束刻蚀后的衍射现象，实测了刻蚀表面的形貌特征，还对这种衍射现象进行了讨论。
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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现代光学仪器国家重点实验室开放课题项目
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